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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心接觸角測量系列CA720 晶圓接觸角測量儀CA720半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

產(chǎn)品簡介:半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析,采用光學(xué)成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。設(shè)備采用全自動進液裝置,性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求,目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

產(chǎn)品型號:CA720

更新時間:2024-12-10

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:77

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產(chǎn)品介紹

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

1.樣品臺專為晶圓設(shè)計,可適應(yīng)6-12寸的晶圓,具備四向?qū)χ泄δ堋?/span>

2.矩陣型多點測試,測試精準簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。

3.一次測試點位多達50+個,可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。

4.測試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。

5.批量方案設(shè)置功能,可保存多個測量方案,一次保存,終身無需再設(shè)定??呻S時調(diào)取。

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

貨期:現(xiàn)貨

品牌:北斗儀器

型號:CA720

產(chǎn)地:廣東東莞

名稱:全自動晶圓專用接觸角測量儀

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

接觸角(Contact angle)是指在氣、液、固三相交點處c作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ,是潤濕程度的量度。是現(xiàn)今表面性能檢測的主要方法。半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析,采用光學(xué)成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析, 采用全自動進液裝置,性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求,目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

專為晶圓深度定制的一臺 晶圓接觸角儀 ,廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究,是一臺快速測量晶圓多點位潤濕性分析測量的設(shè)備。

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

設(shè)

備整體參數(shù)

型號

CA720

名稱

全自動晶圓專用接觸角測量儀

類型

晶圓型

機身材質(zhì)

航空鋁

輸入電源

220V 50-60Hz

功率

10W

儀器尺寸

約890mm(W)*400mm(L)* 580mm(H)

儀器重量

約30KG

樣品平臺系統(tǒng)

平臺尺寸

直徑320mm

前后Y移動

自動:行程160mm,精度0.1mm

測試速度

0.1-50mm/s

上下Z移動

手動:行程30mm,精度0.1mm

水平調(diào)整

整機水平調(diào)整,攝像頭水平調(diào)整(配送專業(yè)級XY水平儀)

可放置樣品

6-12寸

樣品臺材質(zhì)

鋁合金帶四向?qū)χ屑夹g(shù)

注射

統(tǒng)

注液移動行程

Y行程:40mm Z行程(自動):35mm,精度0.1mm(針頭對中及液滴自動轉(zhuǎn)移)

滴樣控制移動

行程:60mm,精度:0.01mm

滴樣方式

自動

滴樣速度

0.01-25ul/s

滴液精度

0.01ul

加液方式

自動(配送5ml玻璃燒杯加液)

微量進樣器

容量:500ul(全自動液位實時檢測)

針頭

標(biāo)配0.5mm不銹鋼針頭(可替換)10個、超疏水針頭0.25mm(可替換)10個

采集

統(tǒng)

相機

日本SONY原裝高速工業(yè)級芯片(Onsemi行曝光)

鏡頭

0.7x-4.5x

傳感器類型

1/1.8 英寸逐行掃描CMOS

分辨率

1280×1024

焦距

±2.5mm可調(diào)

圖像拍攝方法

單張、間隔、連續(xù)

拍攝間隔時間

500-3600000ms

視頻錄制方式

錄像、回播、合成

清晰度測量

全自動軟件對焦

最大拍攝速度

80幀/s

統(tǒng)

光源

美國進口工業(yè)級白色冷光源(有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴)

組合方式

采用日本進口石英擴散膜使得亮度更均勻,液滴輪廓更清晰

使用壽命

5萬小時以上

亮度調(diào)節(jié)

PWM無極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié)

亮度識別

通過北斗算法自動識別亮度保證優(yōu)良亮度

光源波長

400~760nm

接觸角測量

功率

1W

接觸角測量方法

懸滴法、座滴法等

測量軟件

CA V2.0靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件

軟件操作系統(tǒng)要求

windows 10(64位)

接觸角測量方式

自動與手動

接觸角計算方法(static contact angle)

自動擬合法(ms級別一鍵全自動擬合,不存在人工誤差)、三點擬合、五點擬合、自動測量(包括圓擬合法/斜圓擬合法(Circle method/ Oblique Circle)橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測量等

動態(tài)接觸角測量

(Dynamic contact angle)

前進角(Advancing angle),后退角(receding angle),滯后角(hysteresis angle)

(可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計算Video analysis)

基線擬合

自動與手動

角度范圍

0°<θ<180°

精度

0.1°

分辨率

0.001°

表面能測量方法

Fowks法,OWRK法,Zisman法,EOS法,Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法(軟件中預(yù)裝37種液體數(shù)據(jù)庫,可自行建立液體性能參數(shù))數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算,液體庫數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改??煞謩e得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等

表面能單位

mJ/m2

表界面張力

測量方法

自動擬合+手動擬合

精度

0.01 mN/m

測量范圍

0.1mN/m-2000mN/m

潤濕性分析

粘附功

一鍵自動分析

鋪展系數(shù)

一鍵自動分析

粘附張力

一鍵自動分析

精度

0.001 mN/m

單位

mN/m


半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

眾所皆知,軟件是一臺儀器的靈魂所在,組成系統(tǒng)的硬件雖為測量提供了基礎(chǔ),但只有在軟件的支持下,才能實現(xiàn)硬件的功能,充分發(fā)揮其潛力,使系統(tǒng)的總體功能和性能如虎添翼。

本公司研發(fā)定制的CA V1.2.1靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件專用測控軟件自2010年開始就面向客戶提供使用,經(jīng)過11年來各行業(yè)客戶的使用反饋、使用要求、國家標(biāo)準和國外標(biāo)準的融合,已經(jīng)達到一個很成熟穩(wěn)定的狀態(tài)。

擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件控制系統(tǒng)(行業(yè)內(nèi)極少),在對以后軟件升級,新標(biāo)準更換的時候起到一個很大的優(yōu)勢。


測試報告


半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析  

精細機械:系統(tǒng)的框架選用高質(zhì)量的進口高強度氧化保護鋁型材并烤漆處理,所有的其它主要組件也都是由鋁合金,不銹鋼和銅合金通過精密制作而成。

精密定位:系統(tǒng)所有的線性移動單元,包括三維樣品臺(xy-軸),(Z-軸)注射器/針頭的移動調(diào)節(jié),均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅(qū)動,確保傳動平穩(wěn)、輕松和精細。

自動控制:作為標(biāo)準配置CA-200配備了專業(yè)級軟件控制的精密自動液體分配系統(tǒng)AD(Automatic Dispensing)。采用精密線性直線導(dǎo)軌滴液,控制精度可達0.1ul,確保測量的準確性和重復(fù)性,普賽特人改變傳統(tǒng)導(dǎo)液管進液的方式,采用推桿直頂式結(jié)構(gòu),更方便進樣器的清洗及更換,同時避免了傳統(tǒng)導(dǎo)液管進樣排空氣難且需專業(yè)人士操作的難題。它既可裝載高精度氣密玻璃微量注射器(如用于需精密/精細體積控制的測量)又可配置一次性塑料注射器(如用于難清洗的液體樣品測量);當(dāng)液體用完后,可直接通過配送的5ml燒杯進行自動加液。

配置齊全的進樣器與針頭選擇:提供數(shù)十種不同規(guī)格的進樣器供使用者選擇,如不同規(guī)格(25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….),不同材質(zhì)(氣密玻璃進樣器/塑料進樣器),不同品牌(Hamilton/boli….)以滿足不同客戶需求。提供各種規(guī)格(10-34#)以及不同材質(zhì)(不銹鋼/聚四氟乙烯/pp撓性針頭)以及特殊針頭(彎曲針頭),可用于常規(guī)接觸角測量,也可用于超疏水、超親水、高粘度等特殊液體的進樣、液滴轉(zhuǎn)移等。

成像系統(tǒng):作為標(biāo)準配置CA-200采用了行曝光(Rolling Shutter)高分辨率CMOS圖像傳感器配合pomeas0.7-4.5遠心輪廓鏡頭。保證優(yōu)良的成像效果。同時亮度連續(xù)數(shù)字可調(diào)的高強度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。

軟件平臺:軟件是整個測量系統(tǒng)的靈魂和大腦 。 CAPST V1.2.1軟件 為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性 。作為一光學(xué)方法,測量的精度取決于成像的質(zhì)量和后著的處理、分析和計算方法 。 其中采用的亞像素( sub-pixel)液滴坐標(biāo)檢測 ,自動液 /固 /流 -三相接觸線識別 , 液滴全輪廓分析 ,和基于連續(xù)信息反饋的液滴監(jiān)視功能等構(gòu)成了軟件的核心組件,而且這一切又都能實時完成。

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

1.usb2.0數(shù)字CCD攝像頭 1個

2.連續(xù)變倍光學(xué)系統(tǒng) 1個

3.手動加樣系統(tǒng) 1套

4.手動CCD傾斜系統(tǒng) 1套

5.表界面分析測量系統(tǒng)應(yīng)用軟件 1套

6.說明書紙質(zhì)一份及說明書電子版 1份

7.保修卡及合格證1份

8.親水進樣針10個,疏水進樣針10個

9.500ul進樣器1個

10.電源線及數(shù)據(jù)線1條

11.XY專用水平儀1個

11.晶圓自動旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) 1套



半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

物料名稱

數(shù)量

規(guī)格描述

主機框架

1

高強度進口歐標(biāo)航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計

相機

1

USB2.0接口, SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS,分辨率H1280×V1024,幀率80fps

鏡頭

1

對焦距離90mm

光源

1

日本CCS工業(yè)級深度定制單波長LED輪廓冷光源,120個密集光源點,配合美國進口柔光板與均光板,亮度連續(xù)可調(diào),12V安全電壓

支撐腳

1

鋁合金+減震膠墊結(jié)構(gòu),配合減震系統(tǒng),可調(diào)節(jié)機臺水平與防震效果

俯仰調(diào)整滑臺

1

螺桿控制,調(diào)整范圍±1°

滴液驅(qū)動模塊

1

電機驅(qū)動,超細牙絲桿轉(zhuǎn)動,移動行程60mm,

導(dǎo)程1mm,重復(fù)定位精度±0.01μl

滴液升降模塊

1

旋鈕驅(qū)動,絲桿轉(zhuǎn)動,重復(fù)定位精度±1mm

樣品臺升降滑臺

1

齒輪齒條控制,移動行程30mm,分辨率0.1mm

樣品臺平移滑臺

1

齒輪齒條控制,移動行程X30×Y50mm,分辨率0.1mm

固定件和連接件

1

AL6061鋁合金數(shù)控加工而成,表面烤漆處理

控制器

1

微機控制系統(tǒng),發(fā)送指令控制滴液系統(tǒng)

電氣控制單元

1

集成了包括電路、電位器、開關(guān)、電源等

測量軟件

1

包括接觸角測量、表面張力測量、表面能估算和潤濕性分析

微量進樣器

1

500uL,分辨率0.001ul

耗材

1

親水進樣針,疏水進樣針,500ul進樣器

電腦(選配

1

如下配置


半導(dǎo)體接觸角測量儀 晶圓表面潤濕分析

物料名稱

品牌

物料名稱

品牌

CPU

英特爾i3處理器

鼠標(biāo)鍵盤

力拓

主板

英特爾H61主板

機箱

金和田

內(nèi)存

華碩8G DDR3 1600

電源

長城

硬盤

七彩虹 250G

顯示器

HUYINIUDA 19寸









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    廣東北斗精密儀器

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