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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心接觸角測(cè)量系列CA720 晶圓接觸角測(cè)量?jī)xCA720晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性,采用光學(xué)成像的原理-圖像輪廓分析方式測(cè)量樣品表面的接觸角、潤(rùn)濕性能、表界面張力、前進(jìn)后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺(tái)、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。設(shè)備采用全自動(dòng)進(jìn)液裝置,性價(jià)比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測(cè)量需求,目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

產(chǎn)品型號(hào):CA720

更新時(shí)間:2024-12-10

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:82

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晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

1.樣品臺(tái)專為晶圓設(shè)計(jì),可適應(yīng)6-12寸的晶圓,具備四向?qū)χ泄δ堋?/span>

2.矩陣型多點(diǎn)測(cè)試,測(cè)試精準(zhǔn)簡(jiǎn)單方便。自動(dòng)定位-滴液-接液-自動(dòng)測(cè)量-自動(dòng)換位。

3.一次測(cè)試點(diǎn)位多達(dá)50+個(gè),可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。

4.測(cè)試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。

5.批量方案設(shè)置功能,可保存多個(gè)測(cè)量方案,一次保存,終身無需再設(shè)定??呻S時(shí)調(diào)取。

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

貨期:現(xiàn)貨

品牌:北斗儀器

型號(hào):CA720

產(chǎn)地:廣東東莞

名稱:全自動(dòng)晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

接觸角(Contact angle)是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處c作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ,是潤(rùn)濕程度的量度。是現(xiàn)今表面性能檢測(cè)的主要方法。晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性,采用光學(xué)成像的原理-圖像輪廓分析方式測(cè)量樣品表面的接觸角、潤(rùn)濕性能、表界面張力、前進(jìn)后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺(tái)、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性 采用全自動(dòng)進(jìn)液裝置,性價(jià)比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測(cè)量需求,目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

專為晶圓深度定制的一臺(tái) 晶圓接觸角儀 ,廣泛用于晶圓的潤(rùn)濕性能分析與研究,是一臺(tái)快速測(cè)量晶圓多點(diǎn)位潤(rùn)濕性分析測(cè)量的設(shè)備。

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

設(shè)

備整體參數(shù)

型號(hào)

CA720

名稱

全自動(dòng)晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x

類型

晶圓型

機(jī)身材質(zhì)

航空鋁

輸入電源

220V 50-60Hz

功率

10W

儀器尺寸

約890mm(W)*400mm(L)* 580mm(H)

儀器重量

約30KG

樣品平臺(tái)系統(tǒng)

平臺(tái)尺寸

直徑320mm

前后Y移動(dòng)

自動(dòng):行程160mm,精度0.1mm

測(cè)試速度

0.1-50mm/s

上下Z移動(dòng)

手動(dòng):行程30mm,精度0.1mm

水平調(diào)整

整機(jī)水平調(diào)整,攝像頭水平調(diào)整(配送專業(yè)級(jí)XY水平儀)

可放置樣品

6-12寸

樣品臺(tái)材質(zhì)

鋁合金帶四向?qū)χ屑夹g(shù)

注射

統(tǒng)

注液移動(dòng)行程

Y行程:40mm Z行程(自動(dòng)):35mm,精度0.1mm(針頭對(duì)中及液滴自動(dòng)轉(zhuǎn)移)

滴樣控制移動(dòng)

行程:60mm,精度:0.01mm

滴樣方式

自動(dòng)

滴樣速度

0.01-25ul/s

滴液精度

0.01ul

加液方式

自動(dòng)(配送5ml玻璃燒杯加液)

微量進(jìn)樣器

容量:500ul(全自動(dòng)液位實(shí)時(shí)檢測(cè))

針頭

標(biāo)配0.5mm不銹鋼針頭(可替換)10個(gè)、超疏水針頭0.25mm(可替換)10個(gè)

采集

統(tǒng)

相機(jī)

日本SONY原裝高速工業(yè)級(jí)芯片(Onsemi行曝光)

鏡頭

0.7x-4.5x

傳感器類型

1/1.8 英寸逐行掃描CMOS

分辨率

1280×1024

焦距

±2.5mm可調(diào)

圖像拍攝方法

單張、間隔、連續(xù)

拍攝間隔時(shí)間

500-3600000ms

視頻錄制方式

錄像、回播、合成

清晰度測(cè)量

全自動(dòng)軟件對(duì)焦

最大拍攝速度

80幀/s

統(tǒng)

光源

美國(guó)進(jìn)口工業(yè)級(jí)白色冷光源(有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴)

組合方式

采用日本進(jìn)口石英擴(kuò)散膜使得亮度更均勻,液滴輪廓更清晰

使用壽命

5萬小時(shí)以上

亮度調(diào)節(jié)

PWM無極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié)

亮度識(shí)別

通過北斗算法自動(dòng)識(shí)別亮度保證優(yōu)良亮度

光源波長(zhǎng)

400~760nm

接觸角測(cè)量

功率

1W

接觸角測(cè)量方法

懸滴法、座滴法等

測(cè)量軟件

CA V2.0靜/動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量軟件+表面能測(cè)量軟件

軟件操作系統(tǒng)要求

windows 10(64位)

接觸角測(cè)量方式

自動(dòng)與手動(dòng)

接觸角計(jì)算方法(static contact angle)

自動(dòng)擬合法(ms級(jí)別一鍵全自動(dòng)擬合,不存在人工誤差)、三點(diǎn)擬合、五點(diǎn)擬合、自動(dòng)測(cè)量(包括圓擬合法/斜圓擬合法(Circle method/ Oblique Circle)、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測(cè)量等

動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量

(Dynamic contact angle)

前進(jìn)角(Advancing angle),后退角(receding angle),滯后角(hysteresis angle)

(可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計(jì)算Video analysis)

基線擬合

自動(dòng)與手動(dòng)

角度范圍

0°<θ<180°

精度

0.1°

分辨率

0.001°

表面能測(cè)量方法

Fowks法,OWRK法,Zisman法,EOS法,Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法(軟件中預(yù)裝37種液體數(shù)據(jù)庫(kù),可自行建立液體性能參數(shù))數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算,液體庫(kù)數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等

表面能單位

mJ/m2

表界面張力

測(cè)量方法

自動(dòng)擬合+手動(dòng)擬合

精度

0.01 mN/m

測(cè)量范圍

0.1mN/m-2000mN/m

潤(rùn)濕性分析

粘附功

一鍵自動(dòng)分析

鋪展系數(shù)

一鍵自動(dòng)分析

粘附張力

一鍵自動(dòng)分析

精度

0.001 mN/m

單位

mN/m


晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

眾所皆知,軟件是一臺(tái)儀器的靈魂所在,組成系統(tǒng)的硬件雖為測(cè)量提供了基礎(chǔ),但只有在軟件的支持下,才能實(shí)現(xiàn)硬件的功能,充分發(fā)揮其潛力,使系統(tǒng)的總體功能和性能如虎添翼。

本公司研發(fā)定制的CA V1.2.1靜/動(dòng)態(tài)接觸角測(cè)量軟件+表面能測(cè)量軟件專用測(cè)控軟件自2010年開始就面向客戶提供使用,經(jīng)過11年來各行業(yè)客戶的使用反饋、使用要求、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)的融合,已經(jīng)達(dá)到一個(gè)很成熟穩(wěn)定的狀態(tài)。

擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件控制系統(tǒng)(行業(yè)內(nèi)極少),在對(duì)以后軟件升級(jí),新標(biāo)準(zhǔn)更換的時(shí)候起到一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。


測(cè)試報(bào)告


晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性  

精細(xì)機(jī)械:系統(tǒng)的框架選用高質(zhì)量的進(jìn)口高強(qiáng)度氧化保護(hù)鋁型材并烤漆處理,所有的其它主要組件也都是由鋁合金,不銹鋼和銅合金通過精密制作而成。

精密定位:系統(tǒng)所有的線性移動(dòng)單元,包括三維樣品臺(tái)(xy-軸),(Z-軸)注射器/針頭的移動(dòng)調(diào)節(jié),均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅(qū)動(dòng),確保傳動(dòng)平穩(wěn)、輕松和精細(xì)。

自動(dòng)控制:作為標(biāo)準(zhǔn)配置CA-200配備了專業(yè)級(jí)軟件控制的精密自動(dòng)液體分配系統(tǒng)AD(Automatic Dispensing)。采用精密線性直線導(dǎo)軌滴液,控制精度可達(dá)0.1ul,確保測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,普賽特人改變傳統(tǒng)導(dǎo)液管進(jìn)液的方式,采用推桿直頂式結(jié)構(gòu),更方便進(jìn)樣器的清洗及更換,同時(shí)避免了傳統(tǒng)導(dǎo)液管進(jìn)樣排空氣難且需專業(yè)人士操作的難題。它既可裝載高精度氣密玻璃微量注射器(如用于需精密/精細(xì)體積控制的測(cè)量)又可配置一次性塑料注射器(如用于難清洗的液體樣品測(cè)量);當(dāng)液體用完后,可直接通過配送的5ml燒杯進(jìn)行自動(dòng)加液。

配置齊全的進(jìn)樣器與針頭選擇:提供數(shù)十種不同規(guī)格的進(jìn)樣器供使用者選擇,如不同規(guī)格(25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….),不同材質(zhì)(氣密玻璃進(jìn)樣器/塑料進(jìn)樣器),不同品牌(Hamilton/boli….)以滿足不同客戶需求。提供各種規(guī)格(10-34#)以及不同材質(zhì)(不銹鋼/聚四氟乙烯/pp撓性針頭)以及特殊針頭(彎曲針頭),可用于常規(guī)接觸角測(cè)量,也可用于超疏水、超親水、高粘度等特殊液體的進(jìn)樣、液滴轉(zhuǎn)移等。

成像系統(tǒng):作為標(biāo)準(zhǔn)配置CA-200采用了行曝光(Rolling Shutter)高分辨率CMOS圖像傳感器配合pomeas0.7-4.5遠(yuǎn)心輪廓鏡頭。保證優(yōu)良的成像效果。同時(shí)亮度連續(xù)數(shù)字可調(diào)的高強(qiáng)度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。

軟件平臺(tái):軟件是整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的靈魂和大腦 。 CAPST V1.2.1軟件 為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性 。作為一光學(xué)方法,測(cè)量的精度取決于成像的質(zhì)量和后著的處理、分析和計(jì)算方法 。 其中采用的亞像素( sub-pixel)液滴坐標(biāo)檢測(cè) ,自動(dòng)液 /固 /流 -三相接觸線識(shí)別 , 液滴全輪廓分析 ,和基于連續(xù)信息反饋的液滴監(jiān)視功能等構(gòu)成了軟件的核心組件,而且這一切又都能實(shí)時(shí)完成。

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

1.usb2.0數(shù)字CCD攝像頭 1個(gè)

2.連續(xù)變倍光學(xué)系統(tǒng) 1個(gè)

3.手動(dòng)加樣系統(tǒng) 1套

4.手動(dòng)CCD傾斜系統(tǒng) 1套

5.表界面分析測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用軟件 1套

6.說明書紙質(zhì)一份及說明書電子版 1份

7.保修卡及合格證1份

8.親水進(jìn)樣針10個(gè),疏水進(jìn)樣針10個(gè)

9.500ul進(jìn)樣器1個(gè)

10.電源線及數(shù)據(jù)線1條

11.XY專用水平儀1個(gè)

11.晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) 1套



晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

物料名稱

數(shù)量

規(guī)格描述

主機(jī)框架

1

高強(qiáng)度進(jìn)口歐標(biāo)航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)

相機(jī)

1

USB2.0接口, SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS,分辨率H1280×V1024,幀率80fps

鏡頭

1

對(duì)焦距離90mm

光源

1

日本CCS工業(yè)級(jí)深度定制單波長(zhǎng)LED輪廓冷光源,120個(gè)密集光源點(diǎn),配合美國(guó)進(jìn)口柔光板與均光板,亮度連續(xù)可調(diào),12V安全電壓

支撐腳

1

鋁合金+減震膠墊結(jié)構(gòu),配合減震系統(tǒng),可調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)水平與防震效果

俯仰調(diào)整滑臺(tái)

1

螺桿控制,調(diào)整范圍±1°

滴液驅(qū)動(dòng)模塊

1

電機(jī)驅(qū)動(dòng),超細(xì)牙絲桿轉(zhuǎn)動(dòng),移動(dòng)行程60mm,

導(dǎo)程1mm,重復(fù)定位精度±0.01μl

滴液升降模塊

1

旋鈕驅(qū)動(dòng),絲桿轉(zhuǎn)動(dòng),重復(fù)定位精度±1mm

樣品臺(tái)升降滑臺(tái)

1

齒輪齒條控制,移動(dòng)行程30mm,分辨率0.1mm

樣品臺(tái)平移滑臺(tái)

1

齒輪齒條控制,移動(dòng)行程X30×Y50mm,分辨率0.1mm

固定件和連接件

1

AL6061鋁合金數(shù)控加工而成,表面烤漆處理

控制器

1

微機(jī)控制系統(tǒng),發(fā)送指令控制滴液系統(tǒng)

電氣控制單元

1

集成了包括電路、電位器、開關(guān)、電源等

測(cè)量軟件

1

包括接觸角測(cè)量、表面張力測(cè)量、表面能估算和潤(rùn)濕性分析

微量進(jìn)樣器

1

500uL,分辨率0.001ul

耗材

1

親水進(jìn)樣針,疏水進(jìn)樣針,500ul進(jìn)樣器

電腦(選配

1

如下配置


晶圓水滴角測(cè)量?jī)x 測(cè)試半導(dǎo)體表面親疏水性

物料名稱

品牌

物料名稱

品牌

CPU

英特爾i3處理器

鼠標(biāo)鍵盤

力拓

主板

英特爾H61主板

機(jī)箱

金和田

內(nèi)存

華碩8G DDR3 1600

電源

長(zhǎng)城

硬盤

七彩虹 250G

顯示器

HUYINIUDA 19寸









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